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JIMA RT RC-04分辨率测试卡

  • 产品型号:
  • 更新时间:2024-07-31

简要描述:JIMA RT RC-04分辨率测试卡是一种用于设置和测试微焦X射线系统的光刻生产的测试模式

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JIMA RT RC-04分辨率测试卡是一种用于设置和测试微焦 X 射线系统的光刻生产的测试模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之间的分辨率,对应于 0.2 µm 和 20 µm 之间的焦斑尺寸。不同距离的线束应用于硅载体

JIMA RT RC-04分辨率测试卡特点:


测试卡封装在一个防护盒中

盒子的外形尺寸(W×D×T):40×30×5mm

芯片尺寸(W×D×T):5×5×0.015mm

图案布局:T型

线/空间尺寸:32种规格图案,

0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,

0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm,7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,

 
  • 每个测试图案由 8 条线组成,T 形布局

  • 吸收材料:钨,厚度>=650nm

  • 保护膜:PET膜25μm(含粘合剂)

  • 硅基:15 µm +/- 1 µm(厚度)

  • 外壳尺寸:40 x 30 x 5 毫米(宽 x 高 x 深)

  • 芯片尺寸:5 x 5 x 0.06mm(宽 x 高 x 深)

  • 精度模式: 公差: +/- 10%

  • 适用范围工作温度:10°C至70°C


用途:
在 X 射线系统的分辨率测试。选择检测器、样品和试管之间的距离,以便获得尽可能高的放大倍数。现在选择所需的 X 射线参数。将测试图案放置在试管前面,以便一束线条中的每条线条清晰可见。使用机械手进行溶出度测试,使下一个最小的线束变得可见。只要线条清晰,就继续。以下近似适用:焦点尺寸等于分辨率乘以 2。



JIMA RT RC-04分辨率测试的布局+封装

JIMA RT RC-04分辨率测试卡

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