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NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪

产品型号：NanoXSpot
更新时间：2025-05-14

简要描述：NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的NanoXSpot(NxS)测量仪，具有线组、西门子星形和孔图，用于测量小至100纳米的聚焦光斑计算机断层扫描(CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列X射线图像重建物体的体积数据集，这项技术被广泛用于医学中的患者诊断

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产品详情

NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪用于对光斑尺寸 <100 µm 的 X 射线管进行质量保证，根据 prEN 12453-6、prEN 12453-7 评估焦点尺寸 <100 µm 和光斑形状

欧洲计量创新与研究计划项目开发了新的 NanoXSpot (NxS) 测量仪，具有线组、西门子星形和孔图，用于测量小至 100 纳米的聚焦光斑

计算机断层扫描 (CT)可以根据从物体周围不同角度拍摄的一系列 X 射线图像重建物体的体积数据集，这项技术被广泛用于医学中的患者诊断。此外，它还被用于航空航天和电子等行业的无损检测、缺陷与内部结构的评估以及产品尺寸的验证。这些行业对检测分辨力的要求小至纳米级。

随着电子设备的小型化变得越来越普遍，以及随着新技术（如电动汽车）的出现和航空工业中轻质化合物的使用，对 5微米或更小分辨力（大约人类头发丝宽度的 1/10）的 CT 测量的需求日益增加。X 射线管的光斑尺寸直接影响到测量分辨力。但是，对于5微米以下的 X 射线管光斑尺寸，没有的标准或测量方法。X 射线设备制造商采用自有的测量方法导致了不一致的结果。因此，研究人员正在开发基于可溯源表征的测量仪来确定光斑大小、形状和位置的新方法，并将作为这些光斑测量的标准引入。

欧洲计量创新与研究计划（EMPIR）项目《对光斑小至100纳米的 X 射线管焦斑尺寸的测量（NanoXSpot，18NRM07）》正在开发新的标准实践，以比目前更高的准确度水平表征 X 射线焦斑。

X 射线管的质量保证 – 光斑尺寸和形状
一段时间后，可能会观察到 X 射线管（尤其是纳米和微焦管）目标的烧毁使用量，这可能导致光斑尺寸增加。一些管制造商允许管目标旋转。这允许改变目标上的焦点位置并提供不失真的焦点尺寸

NanoXSpot 测量仪 (NxS)

 全新测量仪设计 NxS-1020 最终确定：

• 使用新开发的算法进行焦点测量和特性分析

• 全新焦点 CT 重建算法

 样品支架设计便于测量仪使用

 NxS 测量仪上的图案组（4 个象限）：

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 3-12 µm（Q1）

• 会聚线组图案（Q2 和 Q3）（类似于西门子星）

• 直径为 5 µm 至 1 mm 的孔图案（Q4）

重新设计的 NxS-1022b 仪表

 样品架设计便于使用仪表

 NxS 仪表上的图案组（4 个象限）：

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 4-20 µm（Q1）

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 63 µm（Q2）

• 直径为 5 µm 至 1000 µm 的孔图案（Q3）

• 不同方向的线组图案结构，特征尺寸为 25-50 µm（Q4）

NanoXSpot微焦点测试仪，NanoXSpot焦点测试仪规格：

外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（带蓝宝石玻璃盖的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）

材料

衬底：200 μm 厚硅

吸收器：8 μm 高的金
线宽/间距：公差：+/- 15%
图形线宽 [μm]：4 个象限，每个象限 4 mm x 4 mm;2 个经过改进的西门子星形，具有圆孔和 5 条平行金线，线宽和间距分别为 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小线宽：3 μm。最小孔径：5 μm