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简要描述:多年来,已经提出了许多评估microCT系统性能的方法
QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT测试模体,MicroCT-Barpattern-NANO纳米显微CT柱状测试卡 | |
基础材料: | 固体塑料(切屑放在空气中的支撑件上-壁厚> 0.3 mm) |
模体直径: | 5.2毫米 |
高度: | 19毫米 |
硅芯片的措施: | 3 x 3 x 0.66毫米 |
芯片上的结构(分辨率): | 分别为1至10 µm。500至50 LP / mm |
芯片材质: | 硅 |
图案对比 | 硅/空气 |