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JIMA RT RC-05B分辨率测试卡

  • 产品型号:
  • 更新时间:2024-07-30

简要描述:JIMA RT RC-05B分辨率测试卡是一款采用半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。它用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m至50 µ m)的分辨率。这对应于6微米和100微米(6 µ m和100 µ m)之间的焦斑尺寸。

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JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA RT RC-05B是一款采用半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡。它用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m至50 µ m)的分辨率。这对应于6微米和100微米(6 µ m和100 µ m)之间的焦斑尺寸。

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡
16组I&T布局,2x2 mm,8x8 mm硅基,如上图

下图为尺寸为5 μm I&T的图像

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡

Au Slit的数量为3行和2个空格

宽度3至10 μm:T形布局

宽度15至50 μm:I形布局L/S宽度

L/S宽度:3、4、5、6、7、8、9、10、15、20、25、30、35、40、45、50 μm

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡实物拍摄图:

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡


   
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