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光测量仪器
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美国OAI 358紫外线照度计用于ASML、佳能、尼康和超技术高强度晶圆步进器。基于微处理器的358型 外线强度和能量计可测量、存储和调用9个系列的读数。可读取365、400、420和436 nm
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